Kõrge puhtusastmega see toimib keemilise aurustamise-sadestamise kandegaasina; see kannab gaasi vedelate difusiooniallikate kaudu; ja see toimib kõrge temperatuuriga difusioonahjude seadmete kaitsegaasina.
Kõrge puhtusega Katoodkiiretorude tootmisel on nõutav lämmastiku puhtusaste 99,99% või kõrgem. Lennundustehnoloogias tuleb vedela vesiniku tankimissüsteeme esmalt puhastada kõrge -puhtusastmega lämmastikuga, seejärel kõrge-puhtusega heeliumiga.
2025. aasta detsembris kiitis riigi tururegulatsiooni amet heaks ja avaldas riikliku standardmaterjali kõrge -puhtusastmega lämmastiku jaoks, mida kasutatakse sellistes võtmeprotsessides nagu puhastamine, söövitamine ja sadestamine pooljuhtseadmete tootmisel, aga ka sellistes protsessides nagu fotolitograafia, ioonide implanteerimine ja oksüdatsioon integraallülituste tootmisel.